2010年5月，“中科院半導(dǎo)體所天域碳化硅技術(shù)研究院”，由廣東省東莞市天域半導(dǎo)體科技有限公司和中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所聯(lián)合組建。中科院半導(dǎo)體所是我院首批進(jìn)入知識(shí)創(chuàng)新工程單位之一，是集半導(dǎo)體物理、材料、器件及其應(yīng)用研究于一體的半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)的綜合性研究所，在碳化硅外延材料和器件方面有近十年的技術(shù)積累，并首次在國(guó)內(nèi)完成多片SiC雙室外延爐研制。廣東省東莞市天域半導(dǎo)體科技有限公司，前期投入數(shù)千萬(wàn)購(gòu)置了進(jìn)口的碳化硅外延設(shè)備，并在日本專家的指導(dǎo)下進(jìn)行碳化硅外延片的生產(chǎn)。
研究院的成立旨在將民營(yíng)資本、國(guó)有高技術(shù)、國(guó)際先進(jìn)技術(shù)高效整合的基礎(chǔ)上，提升我國(guó)碳化硅材料與器件的整體研究與開發(fā)的技術(shù)實(shí)力，打造具有國(guó)際先進(jìn)水平的碳化硅材料與器件研發(fā)平臺(tái)?？梢灶A(yù)見，雙方共建研究院將綜合利用雙方優(yōu)勢(shì)，開展全面科技合作，共同承擔(dān)國(guó)家和地方科技任務(wù)，進(jìn)行技術(shù)開發(fā)與應(yīng)用、項(xiàng)目合作、成果轉(zhuǎn)化、人才培養(yǎng)等全面的合作，堅(jiān)持應(yīng)用導(dǎo)向，實(shí)現(xiàn)與技術(shù)前沿和產(chǎn)業(yè)的兩個(gè)對(duì)接，為東莞市的產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型和經(jīng)濟(jì)發(fā)展做出貢獻(xiàn)，也為半導(dǎo)體所的技術(shù)轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化開辟新的渠道。
