專注碳化硅 (SiC) 外延片研發(fā)與生產(chǎn)13年
全球碳化硅外延片主要生產(chǎn)商
發(fā)布時(shí)間:2013-02-20 09:58:56 人氣: 來源:
2013年2月,公司已經(jīng)成功完成對(duì)P型外延層的研發(fā)。已經(jīng)可以向客戶提供P型外延片及P型外延層生長(zhǎng)。
摻雜元素Al;
外延厚度0.5~5um,容差±10%,均勻性3%;
摻雜濃度5E15~1E19cm-3,容差±15%,均勻性10%。